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信息索引號 | 014006438/2024-05144 | 生成日期 | 2024-09-11 | 公開日期 | 2024-09-11 |
文件編號 | — — | 發(fā)布機構 | 無錫市發(fā)展和改革委員會 | ||
效力狀況 | 有效 | 附件下載 | — — | ||
內(nèi)容概述 | 項目名稱:無錫邑文電子上市總部基地項目單位:無錫邑文微電子科技股份有限公司建設內(nèi)容及規(guī)模:占地約59畝,購置氦氣檢漏儀、PUMP、ICP刻蝕機-金屬刻蝕、多腔ALD、PVD設備等各類設備 |
項目名稱:無錫邑文電子上市總部基地
項目單位:無錫邑文微電子科技股份有限公司
建設內(nèi)容及規(guī)模:占地約59畝,購置氦氣檢漏儀、PUMP、ICP刻蝕機-金屬刻蝕、多腔ALD、PVD設備等各類設備,年產(chǎn)去膠機、ICP刻蝕機、UV固膠機、化學氣象沉積等各種半導體設備460臺套
建設起止年限:2024-2026年
計劃總投資:55153萬元
2024年計劃投資:10000萬元
來源:無錫市發(fā)展和改革委員會